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・VMX-6100
VMX-6100 は前モデルVMX-4100の性能をはるかに凌駕し、超高精度に研磨・洗浄された平面基板の 表面外観検査目的に特化した最高峰の超高感度次世代マクロ検査装置です。 VMX-4100では検出が非常に困難だったサブナノメートルのスクラッチやストリーク 洗浄残渣なども容易に検出し現存する最高感度のレーザー検査装置の検出能力をも凌ぎます。
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