・ポリコールド(Brooks Automation Polycold Systems)

独自の冷却サイクルにて、1台のコンプレッサーのみを用い、不燃性かつ安全な混合冷媒ガスの圧縮/膨張を
繰り返すことにより、最大-160℃まで冷却を行います。チャンバー内の水分子(H2O)を超低温のクライオコイル
(冷却 用コイル)に吸着排気させる事により、従来の排気時間を25%〜75%短縮させる事が可能です。
蒸着装置、スパッタ装置、イオン注 入装置、ロールコーター、イオンミリング装置、真空溶解炉
電子ビ ーム溶接装置、リークディテクター等、あらゆる真空装置のクライオ コイル、コールドトラップ
バッフル等の冷却に使われています。